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標準装置

CO2スプレー洗浄機


製品 紹介(種類別) 洗浄機,標準装置

製品紹介(業界別): ウエハー、光学、ハードディスク





設備概要: CO2スプレー精密洗浄機

製品: 4,6,8インチウエハー

機能: 特殊ノズルからドライアイスパウダーを噴射して

パーティクルや有機残差を除去します。

ESD対策、結露防止

ウエハーをカセットから自動で取出し、収納します。



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