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标准机


CO2清洗机



设备类型(按品种):清洗机、标准机

产品类型(按行业):晶圆、光学、硬盘



设备概要:CO2高压喷淋精密清洗

产品:4,6,8英寸不同的晶圆

功能:日和研究开发的特殊喷头,结合产品的要求,X射线除静电,防止结露等保证产品洁净度同时,不对产品造成损伤,自动取放料,洁净度达到0.5~5μ微颗粒数量控制在3-10颗之内


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